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【CEATEC】分解能が0.3Paの水晶圧力センサー、
速度計測への応用も

[issued: 2009年10月9日]
[電子部品/個別部品]
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写真1　圧力センサーで速度を測定するデモ
ヘッド部分に圧力センサーが取り付けられている（拡大写真を参照）。
　エプソントヨコムは2009年10月、『CEATEC JAPAN 2009』（10月6日～10月10日）において、開発中の水晶圧力センサー（開発中）のデモンストレーションを行った（写真1）。同社独自の「QMEMS技術」を用いて小型化した圧力センサーである。デモではゴルフクラブのヘッド部分にこのセンサーを取り付け、クラブを振った際に受けた風の圧力を測定し、それを基にヘッドの速度を算出する様子を示した。

　この圧力センサーは、水晶を用いていることから、ノイズに強く、分解能/堅牢性に優れているという。外形寸法は7.0mm×5.0mm×2.0mm。計測範囲は30kPa～130kPaで、分解能は0.3Pa、総合精度±30Paとなっている。同社の担当者は、「気圧は、1cmの高さの違いで約0.1Pa変化する。つまり、0.3Paの分解能は、3cmの高さの変化に対応する」と説明する。この特徴から、室内の気圧の変化を感知するセキュリティ機器や、速度計、計量器、さらにはカーナビゲーションシステム（カーナビ）への応用も期待できるという。特に、「GPS（全地球測位システム）を使ったカーナビは、実は高さ方向の認識力が弱い。そのため、一般道路の真上を高速道路が走っている場合、カーナビはどちらを走っているのか区別できなくなる。このようなとき、気圧を基に高さ方向を認識できる圧力センサーが応用できるのではないかと考えている」（担当者）という。

　実は、エプソントヨコムは1年前にも水晶圧力センサーを発表している。この製品は、25mm角のサイズで分解能が0.1Paだった。セキュリティ分野をターゲットとしていたのだが、「0.1Paだと、ほこりが落ちた程度でも反応してしまうので、0.3Paまで分解能を落とした」（担当者）という。

　今回デモを行った小型の水晶圧力センサーは、2010年春ごろには開発を完了し、2010年中にもサンプル出荷を開始したいとしている。

（村尾 麻悠子）
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水晶 エプソントヨコム QMEMS 圧力センサー 速度測定

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